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面向第三代半导体碳化硅芯片制造技术，粤芯中标工信部半导体领域公共服务平台项目

20-09-04 13:11 1748次浏览

richesin

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智光电气在投资者互动平台上表示，粤芯半导体联合中标工信部半导体、芯片、关键零部件等领域的产业技术基础公告服务平台建设项目。智光电气指出，该建设项目面向第三代半导体碳化硅芯片制造技术，开展“卡脖子”核心装备研制，重点解决高硬度材料的高平整度、低粗糙度高效加工技术等难题。

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