翻到个资料:
https://www.sohu.com/a/232442285_252291
据立木信息咨询发布的《
中国电子级高纯二氯二氢硅市场调研与投资前景报告(2018版)》显示:电子级二氯二氢硅作为微电子、光电子元件制造过程中不可或缺的重要材料,符合2016年国家商务部发布《鼓励进口技术和产品目录》,其中明确“
半导体、光电子元件、新型电子元件等电子产品用材料制造”为国家鼓励发展的重点行业,行业序号C30。
以电子级二氯二氢硅、三氯氢硅为反应气体,在一定的保护气氛下反应生成硅原子并沉积在加热的衬底上,最终生成满足半导体行业要求的硅外延片。可见电子级二氯二氢硅及三氯氢硅作为电子气体在硅外延片生产过程中的重要性。
全球电子级二氯二氢硅及三氯氢硅市场,日本占据了约80%市场份额。目前,我国仅有河南沁阳凌空特种气体有限公司可生产电子级二氯二氢硅,产能仅为150吨/年。
国内电子级二氯二氢硅和电子级三氯氢硅仍然大量依赖进口。