国内唯一一家？新疆众和超高纯铝溅射靶基材实现批量供应为IC产业助力

国内唯一一家？新疆众和超高纯铝溅射靶基材实现批量供应为IC产业助力
据新疆众和官方消息，新疆众和超高纯铝溅射靶基材实现批量供应。
据悉，在超高纯铝溅射靶基材研发方面，新疆众和经历了数次失败和总结探索，开发出全套生产工艺和技术，独立于欧洲海德鲁和日本住友化学体系外的第三条完整产业链，产品不仅全面符合市场要求，还成功实现了批量供货。
据新疆众和官方介绍，作为我国铝电子新材料研制企业，是国内最早规模开发、生产高纯铝的企业，拥有全球最大的高纯铝生产基地。新疆众和通过与集成电路相关企业承担国家专项项目联合研发，包括北京有色金属 研究总院、宁波江丰电子 材料股份有限公司等企事业单位、科研院所共同承担国家科技重大专项“极大规模集成电路制造设备及成套工艺”等，完成实验室工艺摸索。
同时，新疆众和还建设超高纯铝溅射靶基材中试工厂，相继克服了超高纯铝（5N5）规模生产过程中杂质元素污染、产品表面质量及内部晶粒组织细化控制、氢含量必须小于0.1ppm、晶粒取向控制等一系列难题，最终研发出超高纯铝溅射靶基材的工艺技术，成为国内唯一一家可以规模生产超高纯铝溅射靶基材企业，铝纯度可达到99.9995%（5N5）。（校对/小北）