$奥普光电(sz002338)$奥普光电 承接国家科技部重点项目“超高分辨激光汤姆孙散射光谱仪”
项目主要研究目标是针对
光刻机极紫外光源开发、核聚变能、等离子体薄膜沉积、等离子体表面改性、等离子体生物医学等领域的离子体精密测量诊断需求,突破高效率光源激励、高分辨率光谱仪研制和高抑制比光谱探测等关键技术,开发具有自主知识产权、质量稳定可靠、核心部件国产化的超高分辨激光汤姆孙散射光谱仪,开发相关软件和数据库,开展工程化开发、应用示范和产业化推广,为我国EUV光刻机光源的开发、核能研究、新材料制备等提供关键测量诊断支撑,推动各相关领域的发展。