光刻机光刻胶，上海微电子

张江高科 ：通过全资子公司上海张江浩成创业投资有限公司持有上海微电子14.21%股权。

海立股份 ：海立集团与上海微电子同属上海电气 集团，2021年海立集团与上海微电子装备集团举行战略合作协议签约仪式。

福晶科技 ：公司生产的KBBF晶体是光刻机的重要的上游原材料
苏大维格 ：公司向上海微电子提供了光刻机用的定位光栅产品
奥普光电 ：中科院长光学所持股公司42.4%的股权，其研制的国内第一套EUV光刻原理装置，实现了EUV光刻的原理性贯通。
富创精密 ，全球为数不多的能够量产应用于7纳米工艺制程半导体设备的精密零部件制造商，上海微电子光刻机供应商。
茂莱光学 ：茂莱光学的DUV光学透镜已经在给上海微电子供货。
金力泰 ：全资子公司上海金杜是上海微电子的合格供应商，向其提供应用于其产品零部件的表面处理服务；

蓝英装备 ：公司控股子公司UCMAG为HL光刻机制造商ASML提供精密清洗解决方案。
阿拉丁 ，公司的光刻胶类试剂产品，主要用于满足半导体、集成电路、微电子等领域的研发使用需求。
瑞联新材 ，公司EUV光刻胶单体已通过客户中试级别验证，客户将进一步生产为光刻胶进行性能验证。