半导体设备材料空间广阔,离子注入机超高壁垒且国产化率接近为0。
离子注入机是半导体晶圆制造设备中,难度和单价仅次于
光刻机的关键设备。根据SEM|数据,2019年全球半导体设备投资额约600亿美金、离子注入机2019年全球市场规模约18亿美金。全球离子注入机行业寡头垄断,可量产的仅有
AMAT 、Axcelis、A|BT、凯世通等8家企业,AMAT和Axcelis两大寡头市占率约70中国离子注入机之王凯世通:技术实力国际领先,国产替代空间巨大。
凯世通创始人陈炯博士曾是全球领先离子注入机厂商AIBT的联合创始人。凯世通的
光伏离子注入机出货量处于世界领先地位,而集成电路离子注入机已突破3nm工艺
,其主要参数均优于国外主流同类产品。在中国晶圆厂大幅扩产的背景下,
未来中国离子注入机年投资额约50亿元,仅长江存储约5万片/月的扩产计划共计釆购31台离子注入机,采购金额超过15亿元,而凯世通2019年收入仅约8400万元,国产替代空间巨大。