22:01 ·国产刻蚀机入选全球首条5纳米芯片产线·财联社12月17日讯

22:01  ·国产刻蚀机入选全球首条5纳米芯片产线·财联社12月17日讯，中微半导体设备（上海）有限公司自主研制的5纳米等离子体刻蚀机经台积电 验证，性能优良，将用于全球首条5纳米制程生产线。刻蚀机是芯片制造的关键装备之一，中微突破了“卡脖子”技术，让“上海制造”跻身刻蚀机国际第一梯队。（上海市科学技术委员会）(来自财联社APP)